|
|
| 您現(xiàn)在的位置： 青島晨立電子有限公司 > 供應(yīng)信息> SIC高溫氧化爐-氧化擴(kuò)散爐-科研電爐 晨立電子 |
|
|
|
| 發(fā)布時(shí)間： |
2024/11/1 17:05:00 |
|
|
|
SIC高溫氧化爐-氧化擴(kuò)散爐-科研電爐 晨立電子 詳細(xì)說明 |
|
| |
擴(kuò)散爐系列設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。 設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★ 爐管數(shù)： 1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
★ 氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計(jì)
★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min ~大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm ~大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺(tái)： 凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）噪音： ≤62dB（A）振動(dòng)： ≤3μm
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://m.kangwai.cn/sjshow_507802902/
手機(jī)版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/trade_507802902.html
產(chǎn)品名稱：SIC高溫氧化爐-氧化擴(kuò)散爐-科研電爐 晨立電子 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
電 話： |
86-0532-88533525 |
| 傳 真： |
86-- |
| 手 機(jī)： |
13869885308 |
| 地 址： |
山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號(hào)聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號(hào)樓 |
| 網(wǎng) 址： |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
| 郵 編： |
266200 |
|
|
|
|
|
|
|
