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| 發(fā)布時間： |
2024/11/1 17:05:00 |
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碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 青島晨立電子有限公司 詳細說明 |
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​主要技術(shù)指標：
★可處理硅片尺寸：2—8英寸
★外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
★工作溫度：200℃—1300℃
★恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
★單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±0.5℃／24h
★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
★可控降溫速率：5℃／min
★送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉
★氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
★氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計
★控制方式：工控機、觸摸屏
青島晨立電子有限公司主要產(chǎn)品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高 精 度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進口半導(dǎo)體專 用設(shè)備的翻新升級改造及各大專院�？蒲性核姆菢搜邪l(fā)定制工作。
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://m.kangwai.cn/sjshow_507802898/
手機版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/trade_507802898.html
產(chǎn)品名稱：碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 青島晨立電子有限公司 |
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