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氮化鎵 （GAN）氧化爐
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| 發(fā)布時(shí)間：
2024/10/31 15:27:00 |
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電 話： |
86-0532-88533525 |
| 傳 真： |
86-- |
| 手 機(jī)： |
13869885308 |
| 郵 編： |
266200 |
| 地 址： |
山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號(hào)聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號(hào)樓 |
| 網(wǎng) 址： |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
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| 公司名稱：青島晨立電子有限公司 |
| 聯(lián) 系 人：姜經(jīng)理 先生 經(jīng)理 |
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該設(shè)備用于氮化鎵（GAN）芯片生產(chǎn)工藝過程中的真空退火、合金、氧化、擴(kuò)散等工藝。該系統(tǒng)具有精確溫度控制系統(tǒng)和真空壓力控制系統(tǒng)。
主要參數(shù)：
工作溫度范圍： 600-1280 度。
使用溫度：1200 度。
每爐可處理 25 片。標(biāo)準(zhǔn)晶圓舟 25 片。
爐管有效口徑：滿足 6 寸片，可向下兼容 4、2 寸。
升溫功率：18KVA/每管 。
電源：三相五線制： 380V 三相五線。
具有斷偶、超溫報(bào)警以及二次保護(hù)功能。
島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導(dǎo)體設(shè)備、真空設(shè)備生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供先進(jìn)材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。
主要產(chǎn)品：晶圓真空退火爐、晶圓真空合金爐、半導(dǎo)體材料氧化爐、真空共晶爐、封裝外殼燒結(jié)爐、非晶材料磁場(chǎng)退火爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐加熱器等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專院校科研院所的非標(biāo)研發(fā)定制工作。
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://m.kangwai.cn/cpshow_224481991/
手機(jī)版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/product_224481991.html
產(chǎn)品名稱：氮化鎵 （GAN）氧化爐 |
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