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半導體濕法蝕刻PFA顯影花籃耐強酸硅片承載器低本底

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發(fā)布時間: 2024/1/3 11:44:00
 
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公司名稱:南京濱正紅儀器有限公司
聯(lián) 系 人:田恬  
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半導體濕法蝕刻PFA顯影花籃耐強酸硅片承載器低本底 詳細說明
  PFA花籃(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花藍 ,特氟龍卡匣 , 特氟龍晶舟盒 ,特氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器,耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿),能做激光雕刻,能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃,進入化學酸、堿蝕刻制程中,可搭配PFA把手使用。

二、參數(shù)
名稱 規(guī)格 耐溫性 應用

PFA花籃
PP Cassette
2寸 -200~260℃ 酸堿傳輸制程
4寸
6寸
三、特點
1.耐腐蝕:耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手,用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫:-200~260℃
4.耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關;
5.防污染:本底值低,金屬元素鉛含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,確保晶圓芯片無污染

7.化學性能穩(wěn)定
公司擁有三十多年PFA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗,公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關產(chǎn)品的研發(fā),截止目前,公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃,太陽能硅片承載器,硅片花藍,,半導體清洗花籃。

本產(chǎn)品網(wǎng)址:http://m.kangwai.cn/cpshow_224464782/
手機版網(wǎng)址:http://m.vooec.com/product_224464782.html
產(chǎn)品名稱:半導體濕法蝕刻PFA顯影花籃耐強酸硅片承載器低本底
 
·基本配置規(guī)格
  BZH
 
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